分析試験センターには、高水準の石英材料分析および検査実験室環境と、国際的に最先端のさまざまな精密試験機器(ICP-OES、フーリエ変換赤外線検出器、水平フィゾー干渉計、欠陥検出器、白色光干渉計、原子間力顕微鏡、イメージング装置など)があります。石英材料の水酸基分析、金属不純物元素分析(検出限界0.5ppm)、液体組成分析、X00nmレベルの表面PV精度検出、X00nmレベルの表面欠陥検出、300mm大サンプルAFM測定および分析、サブナノメートル精密材料表面2D / 3D分析などを行うことができます。